一套覆盖从入门级到尖端水平的、专门用于失效分析的专用设备（体系）。

一、设备亮点

电子显微镜中的电气失效分析（EFA）是各行各业中一项关键的检测技术，广泛应用于半导体制造、汽车、电子制造、医疗设备及可再生能源等领域。分析人员借助该技术可检测微观缺陷、观察元器件的内部结构，进而优化设计与制造流程，最终提升电子设备的可靠性和性能。

这套EFA系统能在导航过程中通过实时色彩混合功能实现快速便捷的定位。它可应对最广泛的EFA案例，配备用于低阻抗失效检测的原位电子器件，还能通过专用图像采集功能提供用于报告和分析的优质图像。该EFA系统包含易于操作、全自动的电流测量校准功能。

此系统由硬件、软件和可选配置组成。

EFA技术

➥ 电子束感应电流（EBIC）

➥ 电子束吸收电流（EBAC）

➥ 电阻衬度成像（EBAC/RCI）

➥ 电子束感应电阻变化（EBIRCh）

互连结构表征

➥ 以亚微米级横向分辨率揭示电路网络的电气完整性，搭建从电气失效分析（EFA）到物理失效分析（PFA）的桥梁

➥ 诊断制造过程及长期使用中出现的问题，包括污染、金属图形缺陷、互连结构电阻异常或电迁移等

➥ 直接将缺陷定位到精确的层位和芯片位置

➥ 缩短产品改进措施的实施周期

结区与缺陷分布

➥ 将结构缺陷与电活性关联

➥ 绘制结区的有源区域和电场分布

➥ 验证掺杂分布与掺杂区域

精确定位

➥ 定位由开裂、腐蚀、电迁移或外来颗粒导致的金属线断裂

➥ 识别由过孔互连处的界面污染引起的电阻性开路

➥ 精确定位，为透射电子显微镜（TEM）薄片的聚焦离子束（FIB）制备提供直接位置

介电层缺陷定位

➥ 在击穿前可视化并定位栅极氧化层（GOX）和电容氧化层（COX）中的薄弱点

➥ 以亚微米分辨率精确定位由静电放电（ESD）或电过应力（EOS）导致的氧化层短路

➥ 定位过程中以低至纳瓦级的功耗，保留缺陷的原始特征信号

内置偏压与实时色彩

➥ 对去层器件中的结区和电场进行成像

➥ 在偏压条件下绘制太阳能电池的电活性分布图

➥ 将成像观察到的器件行为与器件建模结果进行对比

二、设备硬件

EFA 控制器

➥ 最多支持 8 个探头的自动配置

➥ 用于低阻抗故障情况的原位电子设备

➥ 两级放大，实现最大量程和最高速度

➥ 内置电压偏置和电流补偿源

➥ 新的可选集成式针头清洁电源

EA DISS6 成像

➥ 集成扫描发生器和图像采集功能

➥ 超高分辨率和高速性能

➥ 高位深度 EFA 模数转换

➥ 同时支持二次电子（SE）和 EFA 输入

三、设备软件

DISS6 图像采集

➥ 布线与放大控制

➥ 用于定位的实时色彩混合

➥ 电流-电压扫描工具

➥ 探针清洁工具

➥ 自动量化至fA……μA

➥ 标准文件格式

DIPS6 图像处理

➥ 用于定位的页面色彩混合

➥ 完整图像和元数据查看器

➥ 自动量化至μA……fA

➥ 基于梯度的伪彩色

➥ 定量像素值的导出

四、可选配置

EA / EFA参考样品

➥ 用于参考和培训的二极管与电阻器

➥ 表面安装在陶瓷板上，便于操作

➥ 集成法拉第杯，用于束流测量