用于扫描电子显微镜（SEM）和聚焦离子束/扫描电子显微镜（FIB/SEM）中电学特性分析的最佳定量电学系统及软件。

一、设备亮点

SEM系统的EA（电学分析）用于各类新型设备的研发，包括大面积太阳能电池、光伏、光电子、高功率晶体管以及纳米点、纳米线以及纳米柱。

该系统是一个完整的解决方案，兼容大多数SEM和FIB-SEM，配备了专有硬件和软件，包括专用样品台、放大器、电压偏置和同步成像，确保以最快速度和最低噪声记录电学活动。

系统设计用于定量测量，因此电子组件经过工厂校准，软件则设计用于自动化元数据管理和测量。

该系统由硬件、软件和可选功能组成。

内部电场

➥ 结点和接触点的活性区域分布

➥ 验证掺杂分布与设计或模型的符合度

➥ 在电压偏置下查看电学行为

➥ 导出数据以量化扩散长度

缺陷部位的电学活动分析

➥ 定位具有增加复合电学活性的位点

➥ 配合高分辨率显微技术

➥ 导出数据以量化复合强度

技术范围

➥ 电子束诱导电流（EBIC）

➥ 电子束吸收电流（EBAC）

➥ 电阻对比成像（EBAC/RCI）

➥ 电子束诱导电阻变化（EBIRCh）

电阻分布

➥ 电阻的空间分布

➥ 识别设备中的短路和开路

➥ 定位弱点和泄漏路径

TEM样品筛选

➥ 利用SEM的宽视场选择目标

➥ 在FIB/SEM中使用电学分析（EA）防止制备损伤

➥ 在转移到TEM之前，先在SEM中筛选薄片样品

二、设备硬件

电学分析（EA）放大器

➥ 校准的高速电子设备，配备原位和外部前置放大器

➥ 用于成像的复杂多级放大，带自动低通滤波器

➥ 集成皮安表用于束流电流测量

➥ 集成电压源用于电学偏压

➥ 集成电流源用于补偿

EFA 控制器

➥ 用于成像的高速多级放大，带自动低通滤波器

➥ 自动信号切换板用于信号路由

➥ 自动皮安表用于束流电流测量

➥ 集成电压和电流源用于偏置和补偿

➥ 可选低功率和高功率电源单元（PSU）用于探针清洁

➥ 可选原位前置放大器用于低阻抗故障情况

➥ 可选电流-电压（IV）扫描

DISS6 SEM扫描控制器

➥ 最新一代电子设备用于图像扫描
➥ 校准的16位信号数字化
➥ 标准4个同步SEM信号输入
➥ 新增8个同步输入用于原位前置放大器
➥ 每个信号独立的亮度和对比度控制

电学分析（EA）/电学放大（EFA）参考样品

➥ 二极管和电阻器用于参考和培训
➥ 表面安装在陶瓷板上，便于操作
➥ 集成法拉第杯用于束流电流测量

三、设备软件

DISS6 图像采集

➥ 集成软件用于图像采集和放大器控制
➥ 高级工具用于色彩混合、电流-电压（IV）扫描和线扫描
➥ 已校准图像数据的检查和导出功能

DIPS6 图像处理

➥ 专用软件用于图像数据的显示

➥ 检查元数据中的采集设置

➥ 提取定量像素值

四、选配项目

电学分析（EA）样品台

➥ 2个探针用于外部前置放大器
➥ 横截面和平面样品样品台
➥ 集成法拉第杯

高级电学分析（EA）样品台

➥ 2个探针用于外部前置放大器
➥ 2个探针用于外部前置放大器
➥ 横截面和平面样品样品台
➥ 集成法拉第杯

定制样品台

➥ 根据需求提供用于各种应用的样品台