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微纳小助手 发布于:2020-10-14
FIB作为透射电镜样品制备仪器,其定点制备及可控制备的优点受到电镜研究者的高度认可,但随着透射电镜分辨率进入亚埃时代,FIB制样时高能镓离子对材料轰击产生的非晶层以及镓离子注入问题受到越来越多的关注。另外,随着半导体制程尺度不断缩小,要求制备的透射电镜样品越来越薄,而常规FIB制备超薄TEM样品时,随着厚度减小,会产生卷边现象,从而制备20nm以下均匀厚度的样品变得越来越困难。同时为了获得更好的原子像以及更好的EELS分析信号,同样要求制备超薄无损的TEM薄片。
Fischione NanoMill微束定点精修系统作为去除常规FIB制样产生的非晶层、镓离子注入问题以及制备超薄TEM样品的技术优势越来越受到认可,为了让中国广大电镜科研用户更深入了解本产品的性能及特色,上海微纳国际贸易有限公司联合西安交通大学材料学院,借助西交大现有Fischione NanoMill 等设备,于2020年9月28日在西交大兴庆校区举办Fischione NanoMill FIB样品精修系统应用培训。来自西安交通大学、北京理工大学、北京工业大学、西北大学、吉林大学、沙钢研究院等单位参加了本次培训,培训分为理论讲解和实际上机操作演示,我司售后经理王佳庆经理对现场的用户老师进行了专业的培训和应用指导。主要针对材料预处理方式以及设备使用过程中的一些技巧问题做出了专业的指导,培训会议取得圆满成功。
目前西安交通大学材料学院配有Fischione 超声波切割机、精密凹坑仪、精密离子减薄仪、等离子清洗仪及NanoMill微束定点精修系统。