地形分析——为您的扫描电子显微镜增添第三维度。

一、设备亮点

PE的BSE地形系统是唯一能提供实时定量校准表面高度测量，并在扫描电子显微镜下实现实时3D可视化的解决方案。

该技术有助于研究人员区分高度和形态差异，在扫描电子显微镜（SEM）和聚焦离子束扫描电子显微镜（FIB-SEM）环境中表征样品表面时具有不可估量的价值。

该系统专为多厂商环境设计，可与标准地形软件无缝对接，支持离线分析及3D打印文件格式。

作为完整的探测器与扫描控制器系统，BSE地形解决方案可改装至任何配备适配BSE端口的显微镜。

该系统由硬件与软件组成。

三维动力学

记录、测量与动态演示表面形态变化——现已涵盖高温原位实验场景。

三维测量

测量高度差、轮廓及其他几何特征，或通过集成3D校准进行验证。

三维导航

实时探索表面地形，通过动态3D视图更深入地了解样本——在移动样本或调整放大倍率时，画面实时更新。

关联性三维显微技术

获取并可视化任何扫描电子显微镜（SEM）模拟与数字信号，将其作为纹理呈现在样品高度图上——现已支持EBIC（电子束诱导共振）技术，实现关联性电学分析。

标准三维分析

实时探索表面地形，通过动态3D视图更深入地了解样本——在移动样本或调整放大倍率时，画面实时更新。

自动化3D工作流程

远程采集样品表面地形数据及多通道扫描电子显微镜信号，实现实时分析与反馈，例如基于人工智能的断裂分析。

实时校准高度测量

BSE地形控制软件包含基于BSE信号的实时表面高度重建功能、内置3D表面可视化工具，以及可配置的工作流程（集成SE和BSE扫描配置文件）。

➥ 可定制工作流程：完全可配置的扫描配置文件，支持实时扫描或高分辨率采集；

➥ 项目设置：保存与自动保存的项目参数、常规工作流程及远程控制功能；

➥ 探测器控制：亮度与对比度调节，含自动信号校准、探测器伸缩控制；

➥ 自动校准：通过3D校准样品自动确定并修正横向与高度标尺；

➥ 自动3D时间序列：自动采集3D原位显微镜时间序列数据，含实时高度测量；

➥ 实时2D高度视图：通过探测器四象限同步采集的背散射电子信号，实时测定样品任意点高度；

➥ 带纹理的实时3D视图：采用高度编码色彩或原始SEM信号作为纹理，实现测量地形的三维可视化。

适用于任何扫描电子显微镜或聚焦离子束扫描电子显微镜的交钥匙定量BSE解决方案

作为一套完整的探测器与扫描控制器系统，点电子背散射（BSE）地形解决方案可改装至任何配备适配BSE端口的显微镜上。

3D校准标准

带参考标记的空间校准样本，用于自动几何校准，确保高度标尺准确无误。

BSE探头

四象限分段式生物电刺激检测器，配备校准放大器，含自动信号调节功能及插入/收回机构。

DISS6 扫描控制器

用于同时采集背散射电子信号与扫描电子显微镜信号的校准多通道成像系统。

DISS6 APP（含地形插件）与microShape应用程序

定量表面图与扫描电子显微镜信号的重建与实时可视化，集成三维校准功能。

二、设备硬件

3D校准标准

➥ 用于X、Y、Z轴校准的标记基准三维结构

➥ 可追溯至德国联邦物理技术研究院（PTB）的参考信息

➥ 配备自动化校准用基准标记

高端背散射电子探测器

➥ 四象限硅传感器，适用于高级背散射电子分析

➥ 原位前置放大，实现最佳效率与速度

➥ 低压传感器

DISS6 SEM扫描控制器

➥ 高性能校准电子设备，用于图像采集

➥ 集成式自动背散射信号放大

➥ 实现所有背散射信号的真正同步采集

三、设备软件

DISS6 采集系统搭配地形插件

➥ 实时BSE地形重建与可视化软件

➥ 定量图像采集与探测器控制

➥ 高度与纹理数据保存至标准文件格式

microShape

➥ BSE地形数据离线3D查看器

➥ 3D环境下测量线轮廓、高度、距离及角度

➥ 3D数据处理（含数据校正与叠加）

microCal

➥ 离线3D校准与报告生成软件

➥ 自动计算所有坐标轴间的比例系数与剪切系数

➥ 分析非线性扫描偏差

microDIP图像处理

➥ 定量图像数据显示软件

➥ 元数据中采集参数的检测

➥ 定量像素值的提取