上海微纳
移动式等离子清洗系统

技术优势:


1、采用专利DownStream设计,等离子体中不含任何电荷及离子态物质,防止对样品表面的溅射损伤;


2、ICP诱导激发等离子体,等离子体量大,且作用范围广;


3、可同时清洗3根透射电镜样品杆,支持ThermoFisher/JEOL/Hitachi全系列样品杆;


4、采用Qwk-Switch快接口设计,等离子发生器可以直接接入其他真空腔体进行在线清洗,一机多用;


5、清洗功率范围:10W-99W,样品清洗舱大小:7英寸(φ) X 7英寸(H);


6、可直接利用O2或Ar清洗碳膜;


7、配备真空探测系统,可设定真空范围自动进行清洗;


8、清洗速率:1.5nm/min@30W, 清洗去除为线性模式,可定量化去除污染




透射电镜多孔碳膜清洗,使用气体为O2