上海微纳

美国ibss公司由Vince Carlino成立于2002年,该公司持续致力于等离子清洗设备的开发,特别是针对电子束等易产生积碳应用场景下等离子清洗设备的开发,其专利的DownStream技术能够保证等离子体中不含电荷或离子态的物质存在,从而可以最大程度降低等离子体对样品表面的损伤,同时能够保证线性清洗效果,从而满足定量去除制样的需求。该公司产品全球销售总量超过1000台,中国地区知名用户如:北京大学、上海光源、SMIC、YMTC/XMC、TSMC、Infineon等。

IBSS等离子清洗产品系列