TEM Mill

精密离子减薄仪

型号：1051

技术优势：

• ​两支独立可调电磁聚焦离子枪
• 同时具备高能量（快速抛光）和低能量（精细修复）
• 超宽加速电压范围：100eV 到10kV，不同加速电压下，离子束束斑均保 持最细最优束斑状态
• 每支离子枪均配备对应法拉第杯进行离子束直接探测
• 采用可调节10英寸触屏控制系统，人机界面友好，操作简洁
• 减薄角度范围：-15°到+10°连续可调
• 样品载台X-Y 可调，可根据需要调整样品减薄位置
• 具备原位实时观察及记录减薄过程功能
• 样品可360°连续旋转或摇摆，离子束自动避让样品夹
• 可选液氮冷台配置，去除热效应对样品的损伤
• 可选真空或惰性气体转移装置，隔绝样品与水氧接触
  

SiTiO3 球差电镜成像

数据来源：东京大学工程创新研究所