上海微纳

TEM Mill

精密离子减薄仪

型号:1051

技术优势:

  • ​两支独立可调电磁聚焦离子枪
  • 同时具备高能量(快速抛光)和低能量(精细修复)
  • 超宽加速电压范围:100eV 到10kV,不同加速电压下,离子束束斑均保 持最细最优束斑状态
  • 每支离子枪均配备对应法拉第杯进行离子束直接探测
  • 采用可调节10英寸触屏控制系统,人机界面友好,操作简洁
  • 减薄角度范围:-15°到+10°连续可调
  • 样品载台X-Y 可调,可根据需要调整样品减薄位置
  • 具备原位实时观察及记录减薄过程功能
  • 样品可360°连续旋转或摇摆,离子束自动避让样品夹
  • 可选液氮冷台配置,去除热效应对样品的损伤
  • 可选真空或惰性气体转移装置,隔绝样品与水氧接触

SiTiO3 球差电镜成像

数据来源:东京大学工程创新研究所