上海微纳

NanoMill® TEM specimen preparation system

微束定点离子减薄系统

型号:1040

技术特色:

• 独有聚焦微束惰性气体离子束
• 低修复电压:50 eV
• 聚焦束斑直径:1μm
• 定位精度高,去除非晶层且不产生再沉积现象
• 采用氩离子束激发二次电子成像同时实现修复及定位
• 离子束可以对准定点位置或在一个选定的区域进行进行精细修复
• 配备液氮冷台,去除热损伤

80kV下原子分辨率成像,样品厚度约7nm,图片来源:Lawrence Berkeley Laboratory (NCEM).

黄色EDS结果为FIB制样后采集,红色曲线为NanoMill修复之后的EDS结果,可以发现明显去除了Ga离子注入的问题